Elaboration par " spray pyrolyse " et caractérisations optique et électrique de couches minces d'oxydes métalliques : effet de la molarité et du recuit
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Date
2018
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Publisher
Université Oum El Bouaghi
Abstract
Ce travail porte sur l'élaboration et la caractérisation de couches minces d'oxydes métalliques par la méthode de spray pyrolyse ultrasonique. Nous avons choisi cette technique parce qu'elle est simple et facile à utiliser. L'objectif de notre travail est l'étude de l'influence de la molarité, du dopage et du recuit (à 400°C pendant 1 à 2 heures) sur les propriétés optiques et électriques de couches minces d'oxydes métalliques {ZnO [0.1M, 0.05M, 0.025M], ZnO:Fe [0.1M]), FexOy [0.1M, 0.05M, 0.025M], SnO2 [0.1M]} déposées sur des substrats de verre. Nous nous sommes intéressés à l'étude des caractérisations optiques par spectrophotométrie UV-Visible-NIR et électrique par la méthode des quatre pointes. Les résultats des caractérisations optiques des couches minces de ZnO, ZnO:Fe (5%), Fe2O3 et SnO2 ont montré que le recuit diminue l'épaisseur et améliore la transmittance. L'indice de réfraction ne varie pas beaucoup. Les valeurs du gap optique restent constantes et en accord avec celles de la littérature. L'énergie d'Urbach varie après recuit et ceci est dû aux conditions expérimentales. Les caractéristiques électriques des couches minces de ZnO, ZnO dopé Fer (5%) et Fe2O3 montrent que la conductivité électrique varie après recuit. Ces variations sont dues à l'augmentation de la mobilité des porteurs des charges à cause de l'augmentation de la taille des grains.
Description
Keywords
Couches minces, Conductivité électrique, Dopage, Spray ultrasonique