Simulation numérique de la charge totale de semi-conducteur dans une structure MOS
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Date
2013
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Publisher
Université Oum El Bouaghi
Abstract
Ce travail est présente en trois chapitres : le premier a été consacre à la présentation d'une bibliographie relative à quelques aspects nécessaires à la compréhension de l'étude entreprise dans ce travail.
Le deuxième chapitre présente la méthode numérique ayant servi à la simulation QSC V en fonction de différents paramètres de fabrication de structures MOS à base de silicium et d'oxyde de silicium, qui est en l'occurrence le logiciel MATLAB.
Le troisième chapitre est consacre à la présentation des résultats de la simulation numérique.
Un nombre assez appréciable de résultats ont été trouvés, dont les plus importants sont :
- la non aptitude de la structure MOS à l'¦utilisation à basse température - le seuil a été détermine et a été trouve égal a 200K. A plus haute température T >300K la structure se comporte plutôt bien. On a également trouve que la température ne change pas les caractéristiques de la désertion de manière significative et que le bon fonctionnement de la structure MOS est lie a un seuil de dopage, qui est dans notre cas (Na ou Nd) = 1021m-3 et en fin on a intérêt a avoir la plus petite couche d'oxyde qui puisse être obtenue technologiquement. L'étude de l'effet du type de matériau se réduit à un simple changement de signe pour les charges et les tensions, et un remplacement de Na par Nd.
Description
Keywords
Semi-conducteur, Structure MOS : fabrication