Elaboration et étude des couches minces de ZNO dopés pour des applications dans l’optique et l’optoélectronique

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dc.contributor.authorZaabat, Sara
dc.contributor.authorBoudrioua, Azzedine
dc.date.accessioned2020-11-17T05:06:18Z
dc.date.available2020-11-17T05:06:18Z
dc.date.issued2020
dc.description.abstractCe travail de thèse porte sur l' élaboration et la caractérisation des couches minces de ZnO non dopé et dopé avec différents dopants (Al, Cu et Ag) ainsi que les multicouches de ZnO/ Me/ ZnO (Me : Al, Cu et Ag), déposé par pulvérisation cathodique magnétron en mode RF sur des substrats de verres, l'objectif principal de ce travail était d' obtenir des couches minces de ZnO à la fois transparentes dans le domaine du visible, avec une conductivité élevée, dans ce contexte, deux parties ont été réalisées, dans la première partie, une étude a été faites sur les propriétés optiques (transparence et guide d'onde) en fonction des paramètres de dépôt (température de dépôt, débit d' argon et débit d'oxygène). Dans la deuxième partie, l'étude est basée sur les propriétés électriques en variant le type de dopant ( Al, Cu ou Ag), l' effet du recuit et le passage d'une structure monocouche à une multicouche. Les spectres DRX montraient que les films présentaient une structure polycristalline hexagonale de type Wurtzite, et une croissance préférentielle selon le plan ( 002 ), l'étude de la rugosité avec l' AFM a révélé que les films déposés étaient uniformes. L' effet de la température de dépôt sur les propriétés optiques des films ont été étudiés et discutés dans la première partie, il a été constaté que les monocouches de ZnO non dopé déposées à 200°C présentaient une meilleure transparence. Dans la deuxième partie, il a été constaté que les structures ZnO dopé Al et le multicouche ZnO/Cu/ ZnO élaborées et qui ont subi un traitement thermique après dépôt à 300°C pendant 1 heure présentaient des performances opto - électriques plus élevées, comparées aux autres structures déposées. هذا العمل يخص تحضير و دراسة رقائق ZnO المدعمة و المحضرة عند درجة الحرارة العادية باستعمال طريقة Magnetron sputtering فوق رقائق زجاجية الدراسة البنيوية لأنصاف النواقل ZnO المدعمة بالألمنيوم و النحاس و الفضة, و كذلك الرقائق متعددة الطبقات ZnO/Me/ZnO تمت بواسطة انعراج الأشعة السينية RX التي بينت تكون بلورات و التي يزداد حجمها عند القيام بمعالجة حرارية عند 300°C لمدة ساعة (هذا ما بينته أيضا الصور المتحصل عليها بواسطة المجهر الإلكتروني MEB ) الدراسة بواسطة جهاز الامتصاص الضوئي في المجال المرئي و الأشعة البنفسجية UV لرقائق ZnO حيث أظهرت أن الرقائق شفافة بنسبة الدراسة بواسطة تأثير Hall , بينت أن رقائق ZnO المدعمة بالألمنيوم و الرقائق متعددة الطبقات ZnO/Cu/ZnO لها مقاومية ضعيفة This thesis work focuses on elaboration and characterization of thin layers of ZnO, (Al, Cu and Ag) doped ZnO and multilayer of ZnO/Me/ Zn O (Me: Al, Cu, Ag), deposited by RF magnetron sputtering on glass substrates, the main objective of this work was to obtain thin layers of ZnO that were both transparent in the visible region ( 400 -800 nm), with a high conductivity. For this purpose, two parts were carried out, in the first part, a study was made on the optical properties (transparency and waveguide) accord ing to the deposition parameters (deposition temperature, argon and oxygen rate flow). In the second part, the study is based on electrical properties by varying the type of dopant (Al, Cu or Ag), the effect of annealing and the transition from a single-layer to a multilayer structure. The XRD spectra showed that the films were polycrystalline with Wurtzite hexagonal structure, the presence of (002) peak indicates that films have a strong c - axis orientation perpendicular to the surface of substrate. The study of roughness with the AFM revealed that the films were uniform. The effect of deposition temperature on the optical properties that the undoped Zn O thin films deposited at 200°C showed better transparency. In the second part, it was found that the Al do ped Zn O and the Zn O/Cu/ Zn O multilayer films after annealing at 300°C, had opto - electric performance compared to other deposited structures.ar
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/123456789/9334
dc.language.isofrar
dc.publisherOum-El-Bouaghiar
dc.subjectCouche mincear
dc.subjectElaboration : caractérisation : couche mincear
dc.titleElaboration et étude des couches minces de ZNO dopés pour des applications dans l’optique et l’optoélectroniquear
dc.typeOtherar
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