Etude des couches minces Zn(1-x)MgxO déposées par sol-gel
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Date
2015
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Publisher
Université Oum El Bouaghi
Abstract
Des couches minces Zn(1-x)MgxO ont été déposées par la méthode sol-gel. Le nombre de trempes détermine l'épaisseur du film déposé. Le contrôle de la concentration de Mg dans la solution permet de moduler le gap des couches déposées. Des morphologies variables ont été observées en surface par microscopie optique. La taille des grains ainsi que la rugosité de surface augmente avec la concentration de Mg dans la solution. Après recuit les propriétés des couches déposées ont été dégradées. Les paramètres du recuit doivent être réadaptés. La faible conductivité de type N s'inverse pour les fortes concentrations de Mg. La mobilité augmente avec la concentration de Mg en accord avec la meilleure cristallinité observée par AFM.
Description
Keywords
Couche mince Zn(1-x)MgxO, Concentration Mg, Procédé sol-gel